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发布时间:2020-01-12        浏览次数:        

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  [General Information] 书名=表延孕育技巧 作家=杨树人,蝴蝶心水论坛 也就是从这个时候开始。丁墨元编著 页数=482 出书社=北京市:国防工业出书社 出书日期=1992.07 SS号 DX号=7 URL=/bookDetail.js p?dxNumber=7&d=953C936F672E27303 78A0D62F3FA4B69 封面 书名 版权 绪论 目次 第一章 表延孕育概述 1-1 什么是表延孕育 1-2 表延孕育的品种 1-3 表延孕育的特性 1-4 器件对表延片的平常恳求 参考文件 第二章 衬底的造备 2-1 单晶的定向 2-2 单晶的切割 2-3 单晶片的研磨 2-4 单晶片的倒角 2-5 单晶片的化学侵蚀 2-6 单晶片的掷光 2-7 单晶片的化学洗涤 2-8 单晶片质料的检测 参考文件 第三章气相表延孕育 3-1 气相表延孕育的淀积反响 3-2 气相表延孕育的热力学 3-3 气相表延孕育的动力学 3-4 气相表延孕育的成核和孕育 3-5 气-液-固表延孕育 参考文件 第四章 硅气相表延孕育 4-1 氢还原SiCl4硅表延孕育道理 4-2 氢还原SiCl4硅表延孕育开发 4-3 氢还原SiCl4硅表延孕育工艺 4-4 氢还原SiCl4硅表延孕育参数管造 4-5 硅表延层质料的检测 4-6 硅表延层缺陷的了解 4-7 氢还原SiHCl3硅表延孕育 4-8 硅烷热解析硅表延孕育 4-9 二氯硅烷和羼杂源硅表延孕育 参考文件 第五章 硅气相表延的进展 5-1 圆满硅表延孕育 5-2 采选硅表延孕育 5-3 低压硅表延孕育 5-4 低温硅表延孕育 5-5 很低压硅表延孕育 5-6 巩固等离子体硅表延孕育 5-7 离子团束硅表延孕育 5-8 P-CVD硅表延孕育 参考文件 第六章 砷化镓气相表延孕育 6-1 氯化物歧化法GaAs气相表延孕育 6-2 GaAs表延层电学性情管造 6-3 GaAs表延层的缺陷 6-4 Ga/HCl/AsCl3/H2体例GaAs表延孕育 6-5 GaAs的采选表延孕育 6-6 GaP和InP气相表延孕育 6-7 GaAs1-xPx气相表延孕育 参考文件 第七章 金属有机化合物气相表延孕育 7-1 MOVPE技巧概要 7-2 MOVPE开发 7-3 MOVPE孕育GaAs及其影响要素 7-4 MOVPE孕育GaAs的反响机理 7-5 MOVPE法孕育Ga1-xAlxAs 7-6 GaxIn1-xAs1-yPy的MOVPE表延孕育 7-7 MOVPE技巧的近况 参考文件 第八章 液相表延孕育 8-1 液相表延孕育方式和装备 8-2 从二组分溶液液相表延孕育道理 8-3 从二组分溶液中瞬态孕育 8-4 从含有两个以上组分的溶液中的异质表延孕育 8-5 均衡相图 8-6 液相表延层电功能和发光功能的管造 8-7 液相表延层表表状貌 8-8 液相表延孕育的实例 参考文件 第九章 固相表延孕育 9-1 无输运介质的固相表延孕育 9-2 有输运介质的固相表延孕育 9-3 固相表延孕育幼结 参考文件 第十章 分子束表延孕育 10-1 分子束表延孕育开发 10-2 分子束表延孕育的源气化 10-3 分子束表延孕育动力学 10-4 分子束表延孕育GaAs 10-5 分子束表延孕育其它化合物半导体 10-6 分子束表延孕育硅 10-7 分子束表延正在超晶格造备方面的运用 参考文件 第十一章 其它表延孕育技巧 11-1 电表延孕育技巧 11-2 热壁表延孕育技巧 11-3 化学束表延孕育技巧 11-4 应用离子的化合物半导体表延孕育技巧 11-5 应用光的化合物半导体表延孕育技巧 11-6 原子层、分子层表延孕育技巧 参考文件 第十二章 异质表延孕育 12-1 GaAs/Si表延孕育 12-2 SOS表延孕育 12-3 SOI表延孕育 参考文件